LiteScope™
Ein einzigartiges AFM-in-REM Instrument für multimodale korrelative in-situ Probenanalyse
AFM-in-REM
Das Nenovision LiteScope™ ist ein kompaktes Rasterkraftmikroskop (AFM), das für die einfache Integration in Rasterelektronenmikroskope (REM) entwickelt wurde.
Durch die Kombination der Stärken von AFM und REM erhalten Sie das Beste der beiden führenden bildgebenden Verfahren. Es eröffnet völlig neue Möglichkeiten für die In-situ-Analyse komplexer Proben. Erfolgreiche Anwendungen haben das LiteScope™ in den Bereichen Materialwissenschaften, Halbleiter, Life Science und Nanostrukturen unter Beweis gestellt.
CPEM steht für Correlative Probe and Electron Microscopy und ermöglicht die gleichzeitige Detektion und Erfassung von Signalen des LiteScope™ und des REM. Während des Scannens wird der Elektronenstrahl des REM mit einem konstanten Offset auf die AFM-Spitze gerichtet. Beide bleiben statisch, während die Probe durch den Piezo-Scanner des LiteScopes bewegt wird. Auf diese Weise können AFM- und REM-Daten zur gleichen Zeit, am gleichen Ort und unter den gleichen Bedingungen aufgenommen werden.
Der Scankopf wurde so entwickelt, dass er in die meisten REM-Systeme passt. Er ist einfach zu montieren und mit REM-Zubehör wie FIB, GIS und EDX kompatibel. Die selbstabtastenden Sonden erfordern keine optische Erkennung oder komplizierte Justierung eines Lasers.
Weitere Systemvorteile
- Komplexe Probenanalyse: simultane Erfassung von REM- und AFM-Daten und deren nahtlose Korrelation zu 3D-Bildern
- In-situ-Bedingungen: Alle Messungen werden zur gleichen Zeit, am gleichen Ort und unter den gleichen Bedingungen durchgeführt, kein Risiko der Probenkontamination.
- Genaue Lokalisierung des interessierenden Bereichs
- Erweiterung der Möglichkeiten des REM
Anwendungsbereiche
Erfolgreiche Anwendungen des LiteScope™ und des CPEM wurden in den Bereichen Materialwissenschaften, Biowissenschaften, Halbleiter und Nanostrukturen durchgeführt.
Komplexe und korrelierende Probenanalyse
Die einzigartige CPEM-Technologie ermöglicht eine komplexe Probencharakterisierung durch die zeitgleiche Korrelation verschiedener AFM- und REM-Kanäle.
In-situ Probencharakterisierung
In-situ-Bedingungen im REM garantieren die Analyse der Probe zur gleichen Zeit, am gleichen Ort und unter den gleichen Bedingungen.
Präzise Lokalisierung des relevanten Bereichs
Der hochpräzise und zeitsparende Ansatz nutzt die Rasterkraftmikroskopie, um die AFM-Spitze zur interessanten Stelle zu navigieren, wodurch diese schnell und einfach lokalisiert werden kann.
Zubehör
Externes Nanoindentationsmodul
Mit dem Nanoindentationsmodul können Sie mikromechanische Experimente durchführen. Betrachten Sie die Probe mit einer exzellenten Vergrößerung im Rasterelektronenmikroskop (REM). Mit dem LiteScope beobachten Sie die eingedrückte Probe. Die Auflösung liegt im Subnanometerbereich.
NenoCase und Digitalkamera
Verwenden Sie das LiteScope als eigenständiges AFM unter Umgebungsbedingungen oder in verschiedenen Atmosphären und navigieren Sie die AFM-Sonde präzise mit der Digitalkamera von NenoVision.
Modul für Probenrotation
Dieses Modul ist besonders nützlich für FIB-Fräsarbeiten mit anschließender AFM-Analyse. Es ermöglicht auch, mehrere Proben gleichzeitig in die REM-Kammer einzubringen und korrelative AFM- und REM-Messungen durchzuführen, ohne die Kammer öffnen zu müssen.
– Blog –
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